異波長帯マイクロアレイ波長選択光源のウエハ内一括作製
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-07
著者
-
山口 昌幸
NEC光エレクトロニクス研究所
-
佐々木 達也
Necシステムデバイス研究所
-
浜本 貴一
NECシステムデバイス研究所
-
佐々木 達也
NEC光・無線デバイス研究所
-
屋敷 健一郎
NEC光・無線デバイス研究所
-
工藤 耕治
NEC光・無線デバイス研究所
-
工藤 耕治
NECナノエレクトロニクス研究所
-
森本 卓夫
NECナノエレクトロニクス研究所
-
山口 昌幸
NEC化合物デバイス事業部
-
浜本 貴一
NEC光・無線デバイス研究所
-
横山 吉隆
NEC光・超高周波デバイス研究所
-
山口 昌幸
NEC光・超高周波デバイス研究所
-
森本 卓夫
NEC光・超高周波デバイス研究所
-
森本 卓夫
NEC・ULSIデバイス開発研究所
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