狭幅選択MOVPEによる1.3μmスポットサイズ変換器集積LDのテーパ導波路形状の制御
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概要
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スポットサイズ変換器集積LD(以下SSC-LD)はSMFとの結合トレランスが大きく, 光モジュールを低コストにできる構造として有望である。スポットサイズを拡大する構造としては, 導波路の膜厚をテーパ状に変化させた形状が広く採用されている。今回我々は, マスクパターンを変えることでテーパ形状が自由に制御可能な狭幅選択MOVPE技術を用いてテーパ形状の異なるいくつかのSSC-LDを製作し, 狭放射角を得るためのテーパ形状について実験的な検討を行ったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
山崎 裕幸
NECナノエレクトロニクス研究所
-
山崎 裕幸
NEC光エレクトロニクス研究所
-
山口 昌幸
NEC光エレクトロニクス研究所
-
佐々木 達也
Necシステムデバイス研究所
-
佐々木 達也
NEC光エレクトロニクス研究所
-
山口 昌幸
NEC化合物デバイス事業部
-
工藤 耕治
NEC光エレクトロニクス研究所
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