青色面発光レーザ用GaN/AlGaN半導体多層膜反射鏡の作製
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概要
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サファイア基板上GaN/AlGaN多層膜反射鏡に歪超格子を導入することにより、クラックが減少し98%という高反射率を得た。また、GaN/AlGaN多層膜反射鏡を発光ダイオードの基板側ミラーとして用い、基板側への光損失を軽減させることに成功した。PL測定では縦モードからの発光が観測された。また、GaN/AlGaN多層反射鏡を反射鏡として用いることにより、光強度が約1.5倍に向上した。GaN/AlGaN多層反射鏡は発光ダイオードの光損失を軽減させる反射鏡として有効である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-09
著者
-
石川 博康
名古屋工業大学工学研究科機能工学専攻:名古屋工業大学工学研究科都市循環システム工学専攻
-
梅野 正義
名古屋工業大学
-
江川 孝志
名古屋工業大学
-
神保 孝志
名古屋工業大学
-
中田 尚幸
名古屋工業大学電気情報工学科
-
神保 孝志
名古屋工業大学極微デバイス機能システム研究センター
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