MOVPE法によるInGaNの結晶成長とその評価

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概要

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• 1997-01-16

著者

• 澤木 宣彦

  名古屋大学大学院工学研究科

• 川口 靖利

  名大・工

• 川口 靖利

  名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 平松 和政

  名古屋大学工学部電子工学科

• 平松 和政

  三重大 工

• 清水 誠也

  名古屋大学工学部電子工学科

• 沢木 宣彦

  名古屋大学工学部電子工学科

• 清水 ヨ也

  名古屋大学 工学部 電子工学科

• 澤木 宣彦

  名古屋大学

• 澤木 宣彦

  名古屋大

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