GaN/α-Al_2O_3の気相エピタキシーにおける応力緩和機構 : 気相成長II

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1992-06-25

著者

• 赤崎 勇

  名城大学理工学研究科

• 平松 和政

  三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻

• 平松 和政

  名古屋大学工学部電子工学科

• デートプロム T.

  名古屋大学工学部

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