有機SOG(k=2.9)を用いた0.18μm CMOS用の0.5μmピッチCuデュアルダマシン配線
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概要
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- 2000-04-07
著者
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日野出 憲治
日立製作所 中央研究所
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日野出 憲治
株式会社日立製作所中央研究所
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大島 隆文
日立・マイクロデバイス
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青木 英雄
(株)日立製作所デバイス開発センタプロセス開発部
-
前川 厚志
日立超LSIシステムズ(株)
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福田 琢也
日立製作所. デバイス開発センタ
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大島 隆文
日立製作所. デバイス開発センタ
-
青木 英雄
日立製作所. デバイス開発センタ
-
丸山 裕之
日立製作所. デバイス開発センタ
-
宮崎 博史
日立製作所. デバイス開発センタ
-
小西 信博
日立製作所. デバイス開発センタ
-
深田 晋一
日立製作所. デバイス開発センタ
-
湯之上 隆
日立製作所. デバイス開発センタ
-
堀田 尚二
日立製作所. デバイス開発センタ
-
日野出 憲司
日立製作所. 中央研究所
-
野尻 一男
日立製作所. デバイス開発センタ
-
徳永 尚文
日立製作所. デバイス開発センタ
-
小林 伸好
日立製作所. デバイス開発センタ
-
大島 隆文
(株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部
-
福田 琢也
技術研究組合超先端電子技術開発機構(ASET)
-
丸山 裕之
株式会社日立製作所デバイス開発センタ半導体技術開発本部プロセス開発部
-
深田 晋一
(株)日立製作所 デバイス開発センタ
-
小西 信博
(株)日立製作所 デバイス開発センタ プロセス開発部
-
徳永 尚文
日立 デバイス開セ
-
宮崎 博史
(株)日立製作所 半導体グループ
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