プラズマエッチングによる超LSIデバイスへのダメ-ジとその抑制

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1995-11-10

著者

• 野尻 一男

  日立製作所. デバイス開発センタ

• 野尻 一男

  日立製作所計測器事業部

• 水谷 巽

  日立製作所笠戸工場

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