電気抵抗比による市販ICのエレクトロマイグレーション信頼度評価(低誘電率層間膜,配線材料及び一般)

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概要

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• アルミニウム配線における室温と77K(液体窒素温度)での抵抗比(RR:Resistance Ratio)測定は,市販ICのエレクトロマイグレーション信頼度に対するスクリーニング方法として適している.市販ICのアルミニウム配線のRR値とエレクトロマイグレーション劣化には強い相関があり,アルミニウム配線の結晶粒径とも相関がある.エレクトロマイグレーション信頼度に対するスクリーニング方法として,RR測定を幾つかの製造ロットから無作為に選んだICに適用した.その結果,製造ロットに応じてRR値は異なり,RR値の低いICはエレクトロマイグレーション耐性が低いことが分かった.従って,RR測定は市販ICのエレクトロマイグレーション信頼度のスクリーニング法として適している.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-01-26

著者

• 中山 貴弘

  日立製作所 情報制御システム事業部

• 日野出 憲治

  日立製作所 中央研究所

• 日野出 憲治

  株式会社日立製作所中央研究所

• 石田 猛

  日立製作所 中央研究所

• 武田 健一

  日立製作所 中央研究所

• 古澤 健志

  ルネサステクノロジー

• 田切 克典

  日立製作所 情報制御システム事業部

• 藤田 藩

  日立製作所 情報制御システム事業部

• 日野出 憲司

  日立製作所. 中央研究所

• 武田 健一

  日立製作所中央研究所

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Takeda Ken'ichi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji-shi, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, 1-280 Higashikoigakubo Kokubunji-shi, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Higashikoigakubo, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• 石田 猛

  日立製作所・中央研究所

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