Dielectric Breakdown and Light Emission in Copper Damascene Structure under Bias-Temperature Stress

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概要

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• 2000-08-28

著者

• 武田 健一

  日立製作所 中央研究所

• Hinode Kenji

  Istec/srl

• Hinode Kenji

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Hinode Kenji

  Central Research Laboratory Hitachi Lid.

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• YAMAGUCHI Hizuru

  Renesas Technology Corp.

• NOGUCHI Junji

  Device Development Center, Hitachi Ltd.

• YAMAGUCHI Hizuru

  Device Development Center, Hitachi Ltd.

• Noguchi Junji

  Device Development Center Hitachi Ltd.

• Yamaguchi Hizuru

  Device Development Center Hitachi Ltd.

• Takeda Ken'ichi

  Central Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Kokubunji-shi, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, 1-280 Higashikoigakubo Kokubunji-shi, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

• Takeda Ken-ichi

  Central Research Laboratory, Hitachi Ltd., Higashikoigakubo, Kokubunji, Tokyo 185-8601, Japan

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