連続波グリーンレーザーによるシリコン薄膜のグレイン成長
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概要
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- 2006-06-26
著者
-
伊藤 隆司
東北大学大学院工学研究科
-
森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科
-
小谷 光司
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
黒木 伸一郎
東北大学大学院工学研究科
-
藤井 俊太朗
東北大学大学院工学研究科
-
小谷 光司
東北大学大学院工学研究科
-
伊藤 隆司
富士通研究所
-
黒木 伸一郎
東北大学工学研究科電子工学専攻
-
伊藤 隆司
東京工業大学ソリューション研究機構:広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
-
伊藤 隆司
東京工大 ソリューション研究機構
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