モノメチルシラン(SiH_3CH_3)を用いた熱CVDによるシリコンカーバイド膜の作製
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-10-01
著者
-
有馬 健太
阪大院工
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
有馬 健太
大阪大学 大学院工学研究科
-
森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科
-
森田 瑞穂
大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻
-
青木 稔
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
吉井 直人
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
有馬 健太
大阪大学大学院工学研究科
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