CVD Si1-x-yGexCyエピタキシャル成長とドーピング制御
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概要
著者
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松浦 孝
東北大学電気通信研究所超高密度・高速知能システム実験施設
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室田 淳一
東北大学
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室田 淳一
東北大学 電気通信研究所
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櫻庭 政夫
東北大学
-
Matsuura T
Hokkaido Univ. Education Hakodate Jpn
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