1.55μm帯および1.3μm帯用積層形偏光分離素子の作製
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概要
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波長1.55μm帯および1.3μm帯で用いるための積層形偏光分離素子(laminated polariza-tion splitter:LPS)をそれぞれに波長帯に適した材料を用いて作製した。波長1.55μm帯用では,LPSを構成するa-Si:HとSiO_2の多層膜を200μm級まで厚膜化することで,フィイバ集積型偏波無依光アイソレータなどのデバイスに応用できるほどの低損失,大きな偏光分離幅を達成した。波長1.3μm帯用では,プラズマCVD法により積層したa-Si_1-x>C_xとSIO_2の多層膜からはじめてLPSを作製し,偏光分離の動作を確認した。
- 1994-10-20
著者
-
川上 彰二郎
東北大学電気通信研究所
-
花泉 修
東北大学電気通信研究所
-
室田 淳一
東北大学電気通信研究所
-
佐藤 尚
東北大学電気通信研究所
-
室田 淳一
東北大学 電気通信研究所
-
大野 潤
東北大学 電気通信研究所
-
高橋 功
東北大学電気通信研究所
-
李 慵基
東北大学電気通信研究所
-
大野 潤
東北大学電気通信研究所
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