可視域透明材料からなるホトニック結晶の作製
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概要
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TiO_2/SiO_2からなる可視域用2次元ホトニック結晶(面内方向,積層方向各1次元)を,スパッタ成膜とスパッタエッチングを組み合わせた自己クローニング法で作製した.最小周期は0.16μmであり,本手法で微細な周期構造をサイズや材料によらずに容易に作製できることを示した.本結晶は面垂直入射の複屈折素子として利用でき,光ディスク分野への応用が期待される.
- 1999-09-25
著者
-
大寺 康夫
東北大学大学院工学研究科
-
川上 彰二郎
東北大学電気通信研究所
-
川嶋 貴之
東北大学電気通信研究所
-
大寺 康夫
東北大学電気通信研究所
-
佐藤 尚
東北大学電気通信研究所
-
三浦 健太
群馬大学大学院工学研究科
-
三浦 健太
東北大学電気通信研究所
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