Ge超薄膜をもつ短波長用積層型偏光子と境界層の検討
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概要
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我々は,以前から集積化に適した偏光子として積層型偏光子(LAMIPOL)の研究,開発を行ってきた.本論文では,短波長域の広い部分(0.6μm<λ<1μm)で高性能なLAMIPOLを得ることを目的として,Ge層を超薄膜化(20〜80Å)したLAMIPOLの設計および試作を行った.その結果,Ge積層厚40〜80ÅのLAMIPOLでは0.6μm<λ<μmの波長域において,設計どおりの高い性能を得ることができた.しかし,Ge積層厚を更に薄くした場合(20Å,30Å),TM波に対する減衰定数α_TMの計算値と測定値が一致しなくなることがわかり,原因を検討した.まず,種々のGe薄膜に対する実験結果から,境界層の性質がGe層の積層厚に依存しないことを見出した.更に,比誘電率が一様な境界層をもつモデル(step近似),連続的に変化するモデル(直線近似)を考察し,後者によればGe積層厚が30Å以上の場合にはLAMIPOLのTM波に対する特性を正確に計算することが可能となった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-25
著者
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