Si/SiO_23次元サブミクロン周期構造 : 作製と応用について
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概要
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2種類の透明媒質からなるサブミクロン周期3次元構造をはじめて作製した. この構造の持つ周期性あるいはフォトニックバンドギャップ特性を利用することにより, これまでにない新しい機能を持った種々の光デバイスを実現することが可能である. これについて展望し, あわせてデバイス応用のプロセス技術において確立すべき作製技術および克服・解明すべき問題点について述べる. そのうちのいくつかについては, 解決の糸口となる要素技術の可能性について説明する.
- 1997-07-04
著者
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科情報制御システム科学
-
榊 裕之
東京大学生産技術研究所
-
榊 裕之
東京大学先端科学技術研究センター
-
川上 彰二郎
東北大学電気通信研究所
-
花泉 修
東北大学電気通信研究所
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科
-
大寺 康夫
東北大学電気通信研究所
-
佐藤 尚
東北大学電気通信研究所
-
花泉 修
群馬大学大学院工学研究科
-
白石 和男
宇都宮大学
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