ポリシリコンを用いた積層形偏光分離素子の層間平滑化について
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概要
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我々は先に積層形偏光分離素子LPS(Laminated Polarization Splitter)の作製法として、酸素導入の切り替えのみによるスパッタ法を提案し、またSi膜の高屈折率化・低損失化については基板温度を高くすることによる結晶化を報告した。今回はLPSの低損失化を目的とし、結晶成長に伴う表面の凹凸の低減化について検討したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科情報制御システム科学
-
松村 和仁
宇都宮大学工学部
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科
-
室 幸市
宇都宮大学大学院工学研究科
-
白石 和男
宇都宮大学
-
菊池 幸市
宇都宮大学工学部
-
菊池 幸市
宇都宮大学大学院工学研究科
-
松村 和仁
宇都宮大学
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