縦続接続テーパから成るシリコン細線導波路用スポットサイズ変換器(光パッシブコンポーネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
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概要
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シリコン細線導波路と光ファイバを低損失で接続するため,面内線形テーパと垂直非線形テーパから成る縦続接続型スポットサイズ変換器を作製し,良好な結果を得た.面内テーパはシリコン細線作製時に一括形成し,垂直テーパはシャドーマスク法を用いて水素化アモルファスシリコンを堆積して作製した.端面の界分布がほぼ円形のスポットサイズ変換器を得ることができた.光ファイバとの接続実験を行い,スポットサイズ変換損失4.7dBを得た.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-12-12
著者
-
依田 秀彦
宇都宮大学大学院工学研究科
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科情報制御システム科学
-
ツァイ チェン
カリフォルニア大学・アーバイン校:国立台湾大学・光電工学研究所
-
石村 友洋
宇都宮大学工学研究科
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科
-
石村 友洋
宇都宮大学大学院工学研究科
-
大島 昭彦
宇都宮大学大学院工学研究科
-
白石 和男
宇都宮大学
-
ツァイ チェン
カリフォルニア大学アーバイン校
-
大島 昭彦
宇都宮大学工学研究科
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