EMD2000-43 / CPM2000-58 / OPE2000-55 / LQE2000-49 石英と多結晶シリコンから成る低損失LPSの作製
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概要
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多結晶シリコンと石英から成り20゜以上の大きな偏光分離角を持つ、積層形偏光分離素子用(LPS)多層膜の低損失化を検討した。基板温度、1層当りの膜厚、スパッタリング時のArガス圧についての検討を行った。その結果、吸収と散乱による損失を低減できる最適成膜パラメータを見出し、0.24dB/100μmの低損失多層膜を得ることができた。
- 2000-08-18
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