大きな偏光分離特性を有する斜め配向柱状 Si 膜の作製
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概要
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偏光分離素子は、光アイソレータや光インターコネクション等における重要な光回路素子の一つである。ルチルや方解石は従来からよく利用されているが、偏光分離角が小さいという欠点がある。一方、積層形偏光分離素子(LPS)は偏光分離角が大きいものの、広開口を得るのが困難である。先に我々は、広開口で大きな偏光分離特性を実現する一つの方法として、図1に示すように斜めに配向した柱状誘電体のもつ構造複屈折を利用する方法を提案し、Ta_2O_5厚膜でその動作を実験的に確認した。今回、偏光分離特性を向上する目的で構成材料に Si を用いて厚膜を作製した。その結果、20°という大きな偏光分離角を得たので報告する。
- 1997-08-13
著者
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科情報制御システム科学
-
白石 和男
宇都宮大学大学院工学研究科
-
白石 和男
宇都宮大学
-
伊東 勇
株式会社シンクロン
-
坂本 幸夫
株式会社シンクロン
-
青柳 知行
宇都宮大学工学部
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