20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
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概要
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多結晶シリコンと石英からなり,20°以上の大きな偏光分離角をもつ積層形偏光分離素子用の多層膜の低損失化を検討した.吸収と散乱による損失を低減できる最適成膜パラメータを見出し,0.24dB/100μmの低損失多層膜を得た.
- 1999-12-25
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