積層型偏光分離素子の低損失化
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概要
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積層型偏光分離素子(LPS)は水素化アモルファス・シリコン(a-Si:H)と石英(SiO_2)からなる交互多層膜の構造異方性を利用して,入射光ビームを直交する二つの偏光ビームに分離する素子である。LPSは従来の偏光子に比べて小型であるため光ファイバ集積型デバイスへの応用に有効である。本論文では多層膜をバイアス・スパッタリング法で作製し,散乱損失の原因であった多層膜の構造不完全性(境界のゆらぎ)を低減した。その結果,波長1.55μmにおいて挿入損失は減少し,減衰定数〜1×10^-3>dB, μm(偏光分離角は18°)が得られた。このLPSの特性を仮定すると偏光無依存ファイバ集積アイソレータの特性を向上させることができる。
- 1993-06-18
著者
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