可視光域フォトニック結晶の作製と複屈折素子への応用
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概要
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TiO_2/SiO_2からなる可視光域用2次元フォトニック結晶(面内方向、積層方向各1次元)を、スパッタ成膜とスパッタエッチングの組み合わせによるオートクローニング法を用いて初めて作製した。本手法は、材料やサイズに対して高い自由度を持っており、また欠陥を自己修復する効果も有するため、フォトニック結晶の作製法として極めて有用である。更に、本フォトニック結晶が可視光域での波長板や偏波選択回折格子などの複屈折素子として機能することを実証し、これらの光ディスク分野への応用の可能性を示した。
- 1999-12-14
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