Si/SiO_2系サブミクロン3次元フォトニック結晶の作製、評価と伝搬特性の解析
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概要
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rfバイアス・スパッタリング法を用いて、SiとSiO_2からなるサブミクロン周期3次元構造体を作製し、その光学特性を評価した。実験の結果、単純な1次元の周期構造とは明らかに異なる透過特性が観測された。また測定したストップパンドは1.71μm〜2.06μmの範囲であり、近赤外波長域に入るものであった。またいくつかの代表的な方向の伝搬特性を、FDTD(Finite-Difference Time-Domain)法により解析し、同様の近赤外波長域にストップバンドが現れることを明らかにした。
- 1997-08-21
著者
-
川上 彰二郎
東北大学電気通信研究所
-
花泉 修
東北大学電気通信研究所
-
川嶋 貴之
東北大学電気通信研究所
-
大寺 康夫
東北大学電気通信研究所
-
佐藤 尚
東北大学電気通信研究所
-
花泉 修
群馬大学大学院工学研究科
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