塩素吸着とArイオン照射を用いたSiのエッチング
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概要
著者
-
松浦 孝
東北大学電気通信研究所超高密度・高速知能システム実験施設
-
大見 忠弘
東北大工
-
澤田 康次
東北大通研
-
室田 淳一
東北大学 電気通信研究所
-
室田 淳一
東北大通研
-
Matsuura T
Hokkaido Univ. Education Hakodate Jpn
-
松浦 孝
東北大通研
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