C-10-11 ソース裏面電極によるInP/InGaAsコンポジットチャネルMOSFETのアクセス抵抗低減(C-10.電子デバイス,一般セッション)

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概要

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• 2011-08-30

著者

• 金澤 徹

  東京工業大学

• 宮本 恭幸

  東京工業大学

• 加藤 淳

  東京工業大学理工学研究科電子物理工学専攻

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