ホットエレクトロンのコヒーレンス評価のための微細エミッタ共鳴トンネルダイオード
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概要
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ホットエレクトロンの波動性を利用したデバイスの実現は電子のコヒーレンス特性にかかっている。Kangらは共鳴トンネルダイオード(RTD)の共鳴ピーク幅からコヒーレンス長を評価した。しかしその評価にはヘテロ界面揺らぎ、不純物等による構造不均一性の影響が含まれ、真の値は評価値より長い可能性がある。本報告では、RTDのエミッタを微細化することにより不均一の影響を除去してコヒーレンス特性を評価することを検討し提案する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
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