Electron Beam Assisted Chemical Etching of Single Crystal Diamond Substrates
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1996-12-30
著者
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
Taniguchi Jun
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
Miyamoto Iwao
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
OHNO Naoto
Department of Applied Electronics, Science University of Tokyo
-
Taniguchi J
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
Honda Satoshi
Department Of Applied Electronics Science University Of Tokyo
-
Ohno N
Osaka Electro‐communication Univ. Neyagawa Jpn
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