イオンビームを用いたCVDダイヤモンド薄膜の平滑化(第2報)-エッチバック法を用いた場合-
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概要
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- 1995-09-01
著者
-
宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
清原 修二
東京理科大学 基礎工学部
-
正木 隆嗣
東京理科大学 基礎工学部
-
木村 裕一
東京理科大学 基礎工学部
-
原 正子
東京理科大学 基礎工学部
-
西村 一仁
北九州職業能力開発短期大学校
-
北沢 一茂
東京理科大学 基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学
-
清原 修二
山口東京理科大学 基礎工
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