電子・集束イオンビーム援用化学加工によるダイヤモンドの微細加工:電子ビームとイオンビームにおける加工特性の違い

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概要

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• 2002-03-01

著者

• 谷口 淳

  東京理科大学基礎工学部

• 谷口 淳

  東京理科大学

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻

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