イオンスパッタ加工法の研究 (第1報) : Si単結晶のイオンスパッタ加工による格子不整

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1979-03-05

著者

• 谷口 紀男

  東京理科大学

• 谷口 紀男

  東京理科大学理工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学

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