水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第2報)-走査速度や加速電圧を変えた場合-
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
谷口 淳
東京理科大学基礎工学部
-
神谷 健一
東京理科大学基礎工学部
-
谷口 淳
東京理科大学
-
大野 直人
東京理科大学基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学
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