イオンビームと電子ビームを用いたダイヤモンドの微細加工

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著者

• 谷口 淳

  東京理科大学基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 谷口 淳

  東京理大 基礎工

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻

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