酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第3報)-線パターンや矩形パターンの加工特性-

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 谷口 淳

  東京理科大学

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学

• 国府 哲也

  東京理科大学 基礎工学部

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