酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第1報) : 加工特性と線や矩形パターンの作製

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1996-03-05

著者

• 谷口 淳

  東京理科大学基礎工学部

• 谷口 淳

  東京理科大学

• 宮本 岩男

  東京理科大学

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