スピンオングラスをマスクとしたダイヤモンドの微細加工
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概要
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- 2001-09-01
著者
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谷口 淳
東京理科大学基礎工学部
-
谷口 淳
東京理科大学
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学
-
徳永 誠人
東京理科大学基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻
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