Optimization of Processing Condition for Deposition of DLC using FIB-CVD Method(M^4 processes and micro-manufacturing for science)
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概要
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The processing conditions of DLC using the FIB-CVD method were examined in detail and were optimized. Microstructures and mechanical properties of DLC were also investigated. The deposition experiments with changing processing conditions indicated that the rate-determining steps of the deposition rate were varied by the probe current and heating temperature of phenanthrene. HRTEM and diffraction images showed that the DLC had amorphous structures. Young's modulus and Vickers hardness were in the range of 110-140GPa and 1100-1400HV, respectively. These mechanical properties were obtained similarly even though the deposition conditions were changed in our study.
- 2005-10-18
著者
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
Kogo Y
Department Of Materials Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Kogo Yasuo
Department Of Material Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Taniguchi Jun
Faculty Of Industrial Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Yasuno Takuya
Department Of Mechanical Engineering Iwaki Meisei University
-
SAKAMOTO Naomichi
Department of Electronics and Computer Science, Iwaki Meisei University
-
YAGI Takahiro
Tokyo University of Science
-
SAKAMOTO Naomichi
College of Science and Technology, Iwaki Meisei University
-
KOGO Yasuo
Faculty of Industrial Science and Technology, Tokyo University of Science
-
YASUNO Takuya
College of Science and Technology, Iwaki Meisei University
-
MIYAMOTO Iwao
Faculty of Industrial Science and Technology, Tokyo University of Science
-
Yagi Takahiro
Tokyo University Of Science:(present Address)toyota Motor Co.
-
Taniguchi J
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
Sakai N
Department Of Electronics And Computer Science Iwaki Meisei University
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
Kogo Yasuo
Department of Material Science and Technology, Tokyo University of Science
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