Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD(<Special Issue>Recent Advances in Materials and Processing (I))
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概要
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The influence of heat treatment on the mechanical properties of DLC deposited by FIBCVD was examined. To evaluate the mechanical properties, Young's modulus and Vickers hardness were measured by the nano indentation tester. For the characterization of DLC structure, Raman scattering was used. The microstructures of samples were characterized by HRTEM equipped with EELS. From results of the indentation experiments, it was found that Young's modulus and Vickers hardness decreased with increasing heat treatment temperature. Analysis of Raman and EELS spectra indicated that the decrease of Young's modulus and hardness was caused by the decrease of sp^3 fraction.
- 2005-10-15
著者
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
Kogo Y
Department Of Materials Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Kogo Yasuo
Department Of Material Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Taniguchi Jun
Faculty Of Industrial Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Yasuno Takuya
Department Of Mechanical Engineering Iwaki Meisei University
-
SAKAMOTO Naomichi
Department of Electronics and Computer Science, Iwaki Meisei University
-
SAKAMOTO Naomichi
College of Science and Technology, Iwaki Meisei University
-
KOGO Yasuo
Faculty of Industrial Science and Technology, Tokyo University of Science
-
YASUNO Takuya
College of Science and Technology, Iwaki Meisei University
-
MIYAMOTO Iwao
Faculty of Industrial Science and Technology, Tokyo University of Science
-
Yagi Takahiro
Tokyo University Of Science:(present Address)toyota Motor Co.
-
Taniguchi J
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
Sakai N
Department Of Electronics And Computer Science Iwaki Meisei University
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
Kogo Yasuo
Department of Material Science and Technology, Tokyo University of Science
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