Nano-order Rapid Patterning of Quartz Surface Using Focused Ion Beam(M^4 processes and micro-manufacturing for science)
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概要
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To achieve rapid patterning of quartz surface, ion beam irradiation using focused ion beam (FIB) and succeeding buffered hydrofluoric acid wet etching of quartz was examined. The etched depths of quartz saturated with increasing of ion dose and the optimum wet etching time was 60s. This process improved surface roughness and fabricated a 34nm depth and 487nm width line pattern using 330nm diameter FIB irradiation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-10-18
著者
-
MORITA Noboru
Department of Chemistry, Graduate School of Science, Tohoku University
-
TANIGUCHI Jun
Department of Applied Electronics, Tokyo University of Science
-
Morita Noboru
Department Of Mechanical And Intellectual Systems Engineering University Of Toyama
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
Morita Noboru
Department Of Chemistry Graduate School Of Science Tohoku University
-
KOGO Yasuo
Department of Material Science and Technology, Faculty of Industrial Science and Technology, Tokyo U
-
Kogo Y
Department Of Materials Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Kogo Yasuo
Department Of Material Science And Engineering Science University Of Tokyo
-
Kogo Yasuo
Department Of Material Science And Technology Tokyo University Of Science
-
Taniguchi Jun
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
MIYAMOTO Iwao
Department of Applied Electronics, Tokyo University of Science
-
Miyamoto Iwao
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
KAWASEGI Noritaka
Graduate School of Science and Engineering, University of Toyama
-
MOMOTA Sadao
Department of Intelligent Mechanical Systems Engineering, Kochi University of Technology
-
Momota Sadao
Kochi University Of Technology
-
NAKAO Takaaki
Department of Applied Electronics, Tokyo University of Science
-
Nakao Takaaki
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
Taniguchi J
Department Of Applied Electronics Tokyo University Of Science
-
KAWASEGI Noritaka
Toyama Industrial Technology Center
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
Kogo Yasuo
Department of Material Science and Technology, Tokyo University of Science
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