イオンスパッタ加工法の研究(第3報) : 微小先端半径をもつダイヤモンド触針の成形
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
イオンスパッタ加工法をミクロンオーダの微小先端半径をもつダイヤモンド触針の成形に適用することを試みた.このために, 機械的な研磨法によって成形したダイヤモンド触針の初期先端形状がイオンスパッタ加工した触針の仕上がり形状に及ぼす影響およびイオンスパッタ加工で得られるダイヤモンド触針の先端半径の予測法について検討した.走査電子顕微鏡によるダイヤモンド触針先端の2次元形状の観察からイオンスパッタ加工法がミクロンオーダの先端半径をもつ触針の成形に適用できることが分かった.しかし, 円形状の先端形状を得るためには, 機械的な研磨によって出来る限り触針の先端を円形状に前加工する必要がある.先端形状の直線近似による先端半径の予測値および触針先端部の各点における曲率半径の直接計算による先端平均半径の予測値は実験結果とよく一致し, これらの方法がイオンスパッタ加工した触針の先端半径の予測に有効であることが分かった.触針の先端が2μmに仕上げられた場合, イオンスパッタ加工で仕上げたダイヤモンド触針(初期先端半径5μm)の先端形状と表面性状は機械的な研磨で仕上げたミののそれらに比べて良いことが分かった.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1982-09-05
著者
関連論文
- 時計技術の今昔
- ICの動向について
- セラミックス材料の時計外装への応用
- 時計ケースの材料及び加工
- レーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)による透明材料の微細加工及びメカニズム研究
- 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成 : 微細構造形成の高能率化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第3報,エッチング加速作用のFIB照射条件依存性と3次元微細構造形成への応用(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 209 集束イオンビーム照射と化学エッチングを併用した極微細構造形成(OS6 超精密加工)
- ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元極微細構造形成 : 第2報,集束イオンビーム照射を利用した3次元微細構造形成の可能性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- レーザー生成プラズマ支援アブレーション(LIPAA)による透明材料の微細加工
- 集束イオンビームとアルカリエッチングを併用した極微細加工
- ダイヤモンドからの電界電子放出に関する研究 : 電界電子放出素子作製法の開発及び電界電子放出中のダイヤモンド表面の電子論的解析
- 精密工学における独創性(会名変更記念特集/精密工学・工業とは)
- 時計用水晶を考える
- 「最近の小型電子機器実装技術の新展開」
- 水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第4報) -ボロンドープダイヤモンドの加工特性-
- 水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第3報) -加工形状のAFM観察-
- 水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第2報)-走査速度や加速電圧を変えた場合-
- EUV露光装置用光学素子加工技術の開発
- 118 FIB-CVD法で作製したDLCマイクロ構造体とSi基板間の界面微細構造(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- ナノインプリント技術のホログラムへの応用
- SOGレジストの電子ビーム露光特性
- FIB-CVD法を用いて作製したDLC膜の微細構造解析
- FIB-CVD法によるDLC成形プロセスとその特性評価(マイクロマテリアル)
- ナノ・マイクロ加工のためのドライエッチング技術
- 三次元ナノインプリントにおける金型作製技術の現状と将来展望 (特集2 ナノインプリント技術の応用と将来展望)
- SOG(Spin On Glass)膜を用いた3次元モールドの作製技術 (特集 脚光をあびるナノインプリント技術)
- ナノインプリント技術の足跡 (特集 脚光をあびるナノインプリント技術)
- イオンビームと電子ビームを用いたダイヤモンドの微細加工
- 319 SOG をマスクとしたシンクロトロン放射光による微細加工
- 単結晶ダイヤモンドの反応性イオンビーム援用化学加工とXPSによる照射損傷評価
- SOGを用いて製作したダイヤモンドのマイクロ加工
- F_2レーザー表面改質による紫外線透過ポリマーの親水化と細胞観察用マイクロチップの作製
- 多種少量生産の自動組立 : 精機学会自動組立専門委員会・パネルディスカッションから
- 単結晶ダイヤモンドのリアクティブイオンビーム加工-ナフテン酸金属塩をマスクとした微細パターンの形成-
- ナフテン酸金属塩の酸素イオンビーム加工特性
- ダイヤモンドのリアクティブイオンビーム援用化学加工(第1報)-加工特性について-
- 単結晶ダイヤモンド(100)面の酸素ラジカル加工(第1報) -加工特性について-
- ダイヤモンドバイトの酸素イオンビーム加工(第1報) -切れ刃の先鋭化とマイクロチッピングの除去-
- ECR型イオン源を用いた単結晶ダイヤモンドの酸素イオンビーム加工
- ダイヤモンド(100)面のイオンビーム援用化学加工(第2報) -比加工速度の試料温度依存性について-
- ダイヤモンド探針の酸素イオンビーム加工(第1報) -形状変化の計算機シミュレーション-
- イオンビームを用いたCVDダイヤモンド薄膜の平滑化(第2報)-エッチバック法を用いた場合-
- 超精密プラスチック製品の成形・生産
- スパッタ加工面特性 : イオンビームスパッタ加工の研究
- Fracture of Solid, Edited by D. C. Drucker & T. J. Gilman, Interscience Publishers, A Division of John Wiley & Sons, 1963
- 自動組立専門委員会報告
- 欧州の自動車工業における組立の自動化の傾向
- 日本における自動組立の歴史と現状
- ≪自動組立≫特集号の発行にあたって
- 高動力密度電子ビームの金属への浸入
- 精密工学の領域と在り方
- 無機材料のイオンビームスパッタ加工
- 生産におけるソフトウェア
- 比生産費の概念による被加工性の評価について
- 自動組立と結合技術
- 電子ビーム加工とレーザ加工討論会
- マイクロ波加工
- 会長退任および新任のごあいさつ
- 自動組立のための製品設計改善例
- 電子ビーム加工・レーザ加工における温度解析
- 最近の自動組立機のシステム解析について
- 組立の自動化とその体系
- 表面活性化接合によるナノインプリントリソグラフィー
- ダイヤモンドを用いたナノインプリントリソグラフィ
- Optimization of Processing Condition for Deposition of DLC Using FIB-CVD Method(Advanced Manufacturing Technology (II))
- Optimization of Processing Condition for Deposition of DLC using FIB-CVD Method(M^4 processes and micro-manufacturing for science)
- Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD(Recent Advances in Materials and Processing (I))
- 圧力印加による新半導体リソグラフィー技術
- ナノインプリント技術の現状
- Three-Dimensional Nanofabrication Utilizing Selective Etching of Silicon Induced by Focused Ion Beam Irradiation
- Deep Structure Fabrication of Silicon Utilizing High-Energy Ion Irradiation Followed by Wet Chemical Etching(M^4 processes and micro-manufacturing for science)
- Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold by Spin On Glass (SOG) Replica Method
- 水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第1報) -ダイヤモンド(110)面の加工特性-
- 酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第5報) -電子ビームの照射面積を広くした場合-
- Evaluation of UV-nanoimprinted surface roughness using Si mold with atomically flat terraces
- Nano-order Rapid Patterning of Quartz Surface Using Focused Ion Beam(M^4 processes and micro-manufacturing for science)
- Measurement of Adhesive Force Between Mold and Photocurable Resin in Imprint Technology
- Improvement of Imprinted Pattern Uniformity Using Sapphire Mold
- Uniformity in Patterns Imprinted Using Photo-Curable Liquid Polymer
- Preparation of Diamond Mold Using Electron Beam Lithography for Application to Nanoimprint Lithography
- ナノテクノロジーの構築とその理念(ナノテクノロジー構築最前線 : その哲学と動向)
- 超精密加工技術の発達と今後の課題 : ナノテクノロジーとの関連(超精密技術)
- 第 1 章マイクロ加工技術の概念及びその応用(マイクロ加工)
- 複合加工技術の在り方とその将来 : 加工法の体系的分類をもととして(複合加工技術)
- 先端生産技術と機械工学
- 5.1.2 第1回ICPEの開催に当たっての思い出(5. 精機学会の輪)(5.1 国際交流)
- 精機学会を築いた人々 : 久田太郎氏を中心として(1. 精機学会創立50周年を祝う)(1.2 精機学会のおいたちの記)
- 超精密加工とその応用 : 超微細加工との関連において
- イオンスパッタ加工法の研究(第3報) : 微小先端半径をもつダイヤモンド触針の成形
- イオンビーム加工とその応用
- イオンスパッタ加工法の研究(第2報) : ダイヤモンドの加工
- イオンビーム加工とその応用
- "会員の声"の欄について
- イオンスパッタ加工法の研究 (第1報) : Si単結晶のイオンスパッタ加工による格子不整
- 生産自動機械の技術的動向 : 制御システムを中心として
- 最近の特殊加工法の動向 : とくに高パワー密度加工法について
- Nanotechnology
- 材料と被加工性とその破壊挙動
- 「ナノテクノロジー」の今後の展開 : 「スーパナノテクノロジー」の提唱