単結晶ダイヤモンド(100)面の酸素ラジカル加工(第1報) -加工特性について-
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概要
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- 1997-03-01
著者
-
宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
清原 修二
東京理科大学 基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学基礎工学部
-
宮本 岩男
東京理科大学
-
清原 修二
山口東京理科大学 基礎工
-
稲垣 浩幸
東京理科大学
-
木村 領志
東京理科大学基礎工学部
-
木村 領志
東京理科大学
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