清原 修二 | 東京理科大学 基礎工学部
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概要
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宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
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木村 領志
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山口東京理科大基礎工学科
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谷口 淳
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(株)エリオニクス
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田篠 文照
東洋大学大学院工学部
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田口 佳男
株式会社 エリオニクス
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吉田 三知世
株式会社 エリオニクス
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植松 卓彦
株式会社 エリオニクス
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神田 雄一
東洋大学大学院
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田篠 文照
東洋大学
著作論文
- イオンビームを用いたCVDダイヤモンド薄膜の平滑化(第3報)-エッチバック法を用いた場合-
- ダイヤモンド(100)面のイオンビーム援用化学加工(第1報)-酸素ガスを吹き付けた場合-
- 単結晶ダイヤモンドのリアクティブイオンビーム加工-ナフテン酸金属塩をマスクとした微細パターンの形成-
- 単結晶ダイヤモンド(100)面の酸素ラジカル加工(第1報) -加工特性について-
- ダイヤモンドバイトの酸素イオンビーム加工(第1報) -切れ刃の先鋭化とマイクロチッピングの除去-
- ECR型イオン源を用いた単結晶ダイヤモンドの酸素イオンビーム加工
- ダイヤモンド(100)面のイオンビーム援用化学加工(第2報) -比加工速度の試料温度依存性について-
- ダイヤモンド探針の酸素イオンビーム加工(第1報) -形状変化の計算機シミュレーション-
- ECR型イオン源を用いたダイヤモンド(100)面の酸素イオンビーム加工(第3報)-加工速度のガス圧力依存性について-
- 集束ビーム加工による形状創成(3次元微細形状創成技術)
- イオンビームを用いたCVDダイヤモンド薄膜の平滑化(第2報)-エッチバック法を用いた場合-