ECR型イオン源を用いたダイヤモンド(100)面の酸素イオンビーム加工(第3報)-加工速度のガス圧力依存性について-
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概要
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- 1996-03-01
著者
-
植松 卓彦
エリオニクス
-
宮本 岩男
東京理科大学 基礎工学研究科電子応用工学専攻
-
清原 修二
東京理科大学 基礎工学部
-
田口 佳男
(株)エリオニクス
-
宮本 岩男
東京理科大学
-
清原 修二
山口東京理科大学 基礎工
-
田口 佳男
株式会社 エリオニクス
-
吉田 三知世
株式会社 エリオニクス
-
植松 卓彦
株式会社 エリオニクス
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