307 電子線三次元粗さ計測装置における広領域多視野ステッチング
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概要
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In 3D measurement using electron beam you can obtain extremely high precision information for an area electron beam can scan. However, there has been a strong demand for high resolution measurement of wider areas. This system, which is capable of stitching multiple image fields captured in high precision, now satisfies this demand. Problem solutions in stitching and data obtained are introduced below.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-19
著者
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部
-
植松 卓彦
エリオニクス
-
長谷川 真之
長岡技術科学大学大学院
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部機械系
-
柳 和久
長岡技術科学大学工作センター
-
田口 佳男
(株)エリオニクス
-
田口 佳男
エリオニクス
-
矢島 武史
エリオニクス
-
柳 和久
長岡技術科学大学
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