光触針式輪郭測定センサの楕円照射化による異常値補正効果
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概要
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In most of conventional optical displacement sensors when utilized for the measurement of engineered surfaces, outliers caused by optical speckle noise are lilely to occur depending on the target surface characteristics. To reduce such noise, we invented a new optical correction system for the optical displacement sensor. However, the speckle noise is still marked in small surface roughness range. So the laser irradiation spot of our previously developed optical stylus is enlarged to the knife-edge direction in this study so that the optical speckle noise could be moderated. Fairly good outlier compensation effect was experimentally observed and similar profile data to mechanical one was also obtained.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-12-05
著者
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部
-
深津 拡也
都立産技高専
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部機械系
-
柳 和久
長岡技術科学大学工作センター
-
深津 拡也
東京都立工業高等専門学校
-
柳 和久
長岡技術科学大学
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