光触針式粗さ測定におけるスペックルノイズの除去 : 対物レンズNAの依存性について
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
深津 拡也
都立高専
-
深津 拡也
都立産技高専
-
根本 賢太郎
長岡技大
-
嶋本 篤
(株)フォトニクス
-
根本 賢太郎
長岡技大(院)
-
Shimamoto Atsushi
Photonics Co. Ltd.
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