平面データムを内蔵する表面凹凸形状測定機の開発 : 第2報 適応するセンサシステムの検討
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
嶋本 篤
シマモト技術研究所
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部機械系
-
根本 賢太郎
長岡技大(院)
-
黒蔵 忠
長岡技大(院)
-
柳 和久
長岡技大 機械系
-
黒蔵 忠
セイコーインスツルメンツ株式会社
-
Shimamoto Atsushi
Photonics Co. Ltd.
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