P-IM-02 DEVELOPMENT OF A NOVEL OPTICAL STYLUS SENSOR FOR SURFACE PROFILING INSTRUMENT
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概要
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A profile measurement system using an optical stylus was proposed, which is robust to speckle included in the reflected light from the object surface. This measurement system consists of a displacement-measurement optical system using focus-error detection and a system that only measures speckle noise. Measurements were taken of engineering surfaces for which speckle are easily attained, and it was found that the proposed measurement system could remove the effects of speckle noise and obtain a surface profile close to that obtained by a mechanical stylus instrument.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
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Yanagi Kazuhisa
Department Of Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Nagaoka University Of Technology
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Yanagi Kazuhisa
Department Of Mechanical Engineering Nagaoka University Of Technology
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FUKATSU Hiroya
Department of Production Systems, Tokyo Metropolitan College of Technology
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SHIMAMOTO Atsushi
Photonics, Co., Ltd.
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Fukatsu Hiroya
Department Of Production Systems Tokyo Metropolitan College Of Technology
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Shimamoto Atsushi
Photonics Co. Ltd.
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