静電容量型変位センサを用いた表面形状測定時のサンプリング間隔決定法(機械力学,計測,自動制御)
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概要
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This paper describes the method of determining the sampling distance using electric capacitance type of displacement sensor for areal surface form measurement. Amplitude transmission characteristic of the sensor was disclosed and analytical simulation was carried out. Its inconvenient sensor output signal was functionally compensated with Spline low pass filter. From the sampling condition for the Spline filtration, the necessary minimum sampling distance was determined while the maximum sampling distance was introduced from auto-correlation curve of filtered profile. Macros-copically similar surface profiles were obtained at the sampling distances determined by the two methods.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-25
著者
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部
-
外川 一仁
長岡工業高等専門学校電子制御工学科
-
齋藤 輝明
長岡技術科学大学工学部
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部機械系
-
柳 和久
長岡技術科学大学工作センター
-
外川 一仁
長岡工業高等専門学校
-
齋藤 輝明
長岡技術科学大学大学院
-
齋藤 輝明
長岡技術大学大学院
-
柳 和久
長岡技術科学大学
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