反射レーザ光強度分布測定による精密加工面粗さの非接触評価技法
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1986-04-05
著者
-
柳 和久
長岡技術科学大学工学部
-
塚田 忠夫
東京工業大学情報理工学研究所
-
柳 和久
長岡技術科学大学工作センター
-
前田 哲治
(株)島津製作所
-
塚田 忠夫
東京工業大学大学院情報理工学研究科
-
塚田 忠夫
東京工業大学
-
柳 和久
長岡技術科学大学
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